X熒光光譜儀隨著分光、探測系統及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發展。可以預料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進X熒光光譜儀器的更新發展。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

X熒光光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側技能的一個主要使用范疇，X熒光光譜儀根據有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發源和探測系統構成，根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。

X熒光光譜儀根據其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器，X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

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