X熒光光譜儀的優勢：

1、制樣簡單：通常情況下是物理制樣。試樣經過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成；

2、分析范圍廣：理論上從元素Be到92號元素鈾均可進行分析；

3、測量范圍寬：從0.001%到均可進行分析。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質測量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線，這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。

X熒光光譜儀根據其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器，X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

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