X熒光光譜儀優點：

1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘可以測完樣品中的全部待測元素；

2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定；

3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好；

4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析；

5、分析精密度高；

6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質測量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線，這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。

X熒光光譜儀是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發源和探測系統構成，X射線管產生入射X射線，激發被測樣品，受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

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