X熒光光譜儀隨著分光、探測(cè)系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計(jì)算機(jī)的應(yīng)用，而得到迅速的推廣和發(fā)展。可以預(yù)料，對(duì)新技術(shù)、新方法的探索，還會(huì)不斷促進(jìn)X熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀是一種無(wú)損的，應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測(cè)樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。

X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長(zhǎng)色散的儀器，X熒光光譜儀可對(duì)固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對(duì)多元素進(jìn)行同時(shí)測(cè)定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線（即X熒光），波長(zhǎng)和能量是從不同的角度來(lái)觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。

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